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    擴散硅壓力變送器的工作原理(壓力變送器維護方法)

    文章出處:華仁儀表 發表時間:2021-11-26 10:16

    壓力傳感器是一種可以用于鋼鐵、化工等領域對壓力進行測量,與壓力調節儀配套使用可實現壓力自動控制。


    擴散硅壓力傳感器

    擴散硅壓力傳感器詳解

    擴散硅壓力傳感器是利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術經過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應變電阻,構成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學特性,在同一切硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。


    擴散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,傳感器的電阻值發生變化,用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。

    擴散硅壓力傳感器詳解

    擴散硅壓力傳感器

    擴散硅壓力傳感器詳解

    1、適合制作小量程的變送器

    硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區,制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。


    2、輸出靈敏度高

    硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的傳感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,使用比較方便。


    3、精度高

    由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現,沒有中間轉換環節,重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。


    4、由于工作單性形變低至微應變數量級,彈性芯片最大位移在亞微米數量級,因而無磨損,無疲勞,無老化,壽命長達1×103壓力循環,性能穩定,可靠性高。


    5、由于硅的優良化學防腐性能,即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器,也有相當程度的適應各種介質的能力。


    6、由于芯片采用集成工藝,又無傳動部件,因此體積小,重量輕。

    擴散硅壓力傳感器詳解

    WPAK63擴散硅壓力傳感器

    擴散硅壓力傳感器詳解

    測量介質:液體和氣體

    量程范圍:-100kPa~0~10kPa…100MPa

    壓力類型:表壓、絕壓、密封壓

    輸入阻抗:恒壓:3kΩ~18kΩ/恒流:2kΩ~5kΩ

    響應時間:≤1ms(上升到 90%FS)

    擴散硅壓力傳感器詳解

    WPAK63擴散硅壓力傳感器

    擴散硅壓力傳感器詳解

    ■超量程或降量程選用時,幅度控制在±30%FS 以內。

    ■ 壓力方式分表壓、絕壓、密封壓,根據需要合理選用。

    ■ 確認系統的最大過載,系統的最大過載應小于傳感器的過載保護極限,否則會影響產品的使用壽命,甚至損壞產品。

    ■ 禁止用任何硬物觸碰膜片,否則會導致膜片破裂?!?制造負壓芯體的材料、工藝與正壓不都相同,不能用表壓芯體替代負壓芯體。

    ■ 安裝前請仔細核對使用說明書,避免錯誤的安裝導致損壞產品。

    ■ 錯誤的使用,會導致危險和人身傷害。

    ■ 芯體從殼體拔出,禁止拉導線和和管腿。

    擴散硅壓力傳感器詳解

    擴散硅壓力傳感器

    擴散硅壓力傳感器詳解

    擴散硅壓力傳感器主要應用于過程控制系統、壓力校準儀器、液壓系統、生物醫藥儀器、液壓系統及閥門、液位測量、制冷設備和 HVAC 控制等行業,可以說,凡是自動化要求比較高的的行業,都可能會用到擴散硅壓力傳感器。


    此文關鍵字:擴散,硅壓,力變,送器,的,工作,原理,壓力,變送

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